華東理工大學副教授莊黎偉、美國約翰霍普金斯大學教授邁克爾·薩帕希斯領銜的國際合作團隊，提出了一種間歇性旋涂化學液相沉積制備非晶態沸石咪唑酯骨架(aZIF)薄膜的方法，實現了薄膜沉積速率和厚度的可控，并進行了電子束光刻和超越極紫外光刻驗證。相關研究近日發表于《自然-化學工程》。
據介紹，近年來，aZIF薄膜被用作先進光刻膠。實現aZIF薄膜的大面積、高精度可控制備，對相關領域的先進光刻工藝具有重要意義。
在前期基于超稀釋前驅體溶液賦能化學液相沉積法制備aZIF薄膜策略的基礎上，研究團隊提出了制備aZIF薄膜的新方法。經過系列實驗和仿真，研究團隊得到了薄膜沉積的本征速率，并揭示了薄膜沉積均勻性的關鍵影響因素。
研究團隊利用該化學液相沉積方法，制備了鋅/2-甲基咪唑，鋅/苯并咪唑、鋅/4,5-二氯咪唑和鈷/2-甲基咪唑等多種aZIF薄膜，并對aZIF薄膜作為正型光刻膠和負型光刻膠的圖案化性能進行了測試。他們還驗證了aZIF薄膜作為光刻膠在下一代光刻技術中應用的可行性。
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