4月末，來自學(xué)術(shù)界、產(chǎn)業(yè)界的二十幾名專家學(xué)者齊聚復(fù)旦大學(xué)，共同見證“復(fù)旦大學(xué)先進(jìn)光刻膠材料教育部工程研究中心”正式揭牌成立。該中心的成立是復(fù)旦大學(xué)服務(wù)國家重大戰(zhàn)略需求、推動產(chǎn)學(xué)研深度融合的重要舉措，旨在攻克高端光刻膠材料的“卡脖子”技術(shù)難題，助力我國集成電路產(chǎn)業(yè)邁向全球價(jià)值鏈高端。復(fù)旦大學(xué)副校長姜育剛出席中心成立儀式并致辭，復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院院長張衛(wèi)主持成立儀式。
聚焦國家戰(zhàn)略需求，打造自主創(chuàng)新高地
姜育剛副校長在致辭中表示，光刻膠作為芯片制造的核心材料，其技術(shù)水平直接決定了集成電路的制造工藝精度和產(chǎn)業(yè)競爭力。他強(qiáng)調(diào)，復(fù)旦大學(xué)整合校內(nèi)集成電路、化學(xué)、高分子、材料等多學(xué)科優(yōu)勢力量，成立這一研究中心，是學(xué)校在“教育強(qiáng)國打頭陣，自主創(chuàng)新當(dāng)尖兵”使命下的重要實(shí)踐。希望中心聚焦光刻膠材料“從實(shí)驗(yàn)室到生產(chǎn)線”的工程化難題，加速國產(chǎn)高端光刻膠的自主可控進(jìn)程，為國內(nèi)芯片制造企業(yè)提供穩(wěn)定可靠的工藝技術(shù)與材料研究支撐。
產(chǎn)學(xué)研協(xié)同創(chuàng)新，凝聚行業(yè)頂尖力量
儀式上，復(fù)旦大學(xué)研究生院副院長梅永豐宣讀了第一屆技術(shù)委員會名單，復(fù)旦大學(xué)人事處處長熊易寒為委員頒發(fā)聘書。上海華力集成電路制造有限公司周文湛擔(dān)任委員會主任，蘇州潤邦半導(dǎo)體馬曉明博士、浙江新盈電子方書農(nóng)博士擔(dān)任副主任，十余位行業(yè)領(lǐng)軍專家擔(dān)任委員。隨后，姜育剛副校長與科研院基地建設(shè)與成果管理處處長張峰、微電子學(xué)院黨委書記羅凌、微電子學(xué)院院長張衛(wèi)、中心主任伍強(qiáng)、技術(shù)委員會主任周文湛共同為研究中心揭牌，標(biāo)志著這一重要平臺的正式啟動。
專題研討共謀發(fā)展，前沿洞見引領(lǐng)未來
揭牌儀式后，專題發(fā)言環(huán)節(jié)由中心主任伍強(qiáng)教授主持。來自上海華力、蘇州潤邦、騰訊量子實(shí)驗(yàn)室、張江實(shí)驗(yàn)室等單位的十位專家圍繞光刻膠材料研發(fā)、計(jì)算光刻技術(shù)、產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同等主題展開深入研討。技術(shù)委員會主任、上海華力集成電路制造有限公司周文湛先生指出，光刻膠國產(chǎn)化需學(xué)術(shù)界與產(chǎn)業(yè)界深度協(xié)作，以模塊化研發(fā)與優(yōu)化思路，結(jié)合計(jì)算光刻、量子化學(xué)、人工智能（AI）等技術(shù)手段，實(shí)現(xiàn)先進(jìn)節(jié)點(diǎn)光刻技術(shù)升級。
騰訊量子實(shí)驗(yàn)室研究員馬星宇分享了AI在計(jì)算光刻與光刻膠建模中的應(yīng)用前景；浙江新盈電子董事長方書農(nóng)博士、蘇州潤邦半導(dǎo)體董事長馬曉明博士分別闡述了國產(chǎn)光刻膠樹脂材料對產(chǎn)業(yè)鏈自主可控的賦能作用；徐州博康首席科學(xué)家冉瑞成博士提出建立材料配方的系統(tǒng)性模型與數(shù)據(jù)庫，建立知識產(chǎn)權(quán)的科學(xué)管理機(jī)制，以加快上下游的高效合作；光掩模制造公司代表分析了光掩模與光刻膠材料的發(fā)展趨勢；張江實(shí)驗(yàn)室朱慧娥研究員剖析了國外光刻膠產(chǎn)業(yè)的發(fā)展歷程及國內(nèi)研發(fā)面臨的挑戰(zhàn)；上海集成電路制造創(chuàng)新中心閻江博士解讀了基于物理模型的光學(xué)鄰近效應(yīng)修正（OPC）匹配光刻膠技術(shù)路線。最后，工程中心主任伍強(qiáng)教授在總結(jié)中提出“設(shè)計(jì)-基礎(chǔ)設(shè)施協(xié)同優(yōu)化（DICO）”技術(shù)總路線，并分享了關(guān)鍵研究案例。他表示，中心將秉持“開放協(xié)同”理念，聯(lián)合產(chǎn)學(xué)研力量推動技術(shù)轉(zhuǎn)化，為中國集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展注入新動能。與會專家們還提議增加光刻材料、工藝等相關(guān)專業(yè)的人才培養(yǎng)，并就后續(xù)合作展開了熱烈討論。
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