9月14日,據采招網信息,徐州博康信息化學品有限公司年產1406噸光刻材料及152噸光刻膠技改項目備案。
徐州博康信息化學品有限公司成立于2010年,主營中高端光刻膠及相關原材料產研銷。公司目前在江蘇邳州、浙江東陽有兩個生產基地,其中邳州基地于2021年上半年完成建設已正式投產,具備1100噸光刻材料及10000噸電子級溶劑產能。
產品方面,徐州博康已成功開發ArF/KrF單體及光刻膠、I線光刻膠、封裝光刻膠、電子束光刻膠等系列產品。
ArF產品方面,公司具備干法ArF及濕法ArF光刻膠的技術能力。干法ArF可應用于90nm/65nm/55nm節點。濕法ArF可應用于40nm/28nm節點,14nm及以下工藝正在研發中。公司目前形成銷售的 Arf 光刻膠有 7 款,其中 1 款 ArF 產品在 12 寸 fab 廠批量供應,是同類型國產光刻膠企業中ArF光刻膠商業化進程最快的企業。
KrF產品方面,在研和配方定型光刻膠有 34 款產品,其中,高分辨的 KrF 光刻膠,最小分辨率可達 120nmCD,產品可應用于 14nm-180nm 制程中。公司目前有20余款KrF光刻膠正在客戶端進行產品驗證導入量產,形成銷售的有16款,其中2款在國內大廠批量供應。
作為國內少有能打通光刻膠上游材料的全產業鏈公司,徐州博康的聚合與提純工藝也是其核心競爭力之一。目前:(1)光刻膠單體已經研發近 80 余款,2022 年以來新開發 30 余款單體。(2)光刻膠樹脂已經研發 50 多款。(3)光敏劑已經研發超過 150 款。
此前在2023年12月,徐州博康與華懋科技簽訂了股權轉讓協議,收購了其持有的東陽華芯51%的股權。徐州博康通過控股東陽華芯,使得徐州博康產品線更加完善。2022年7月,東陽華芯建設“年產8000噸光刻材料新建項目”事項,項目規劃年產8000噸光刻材料,主要包括ArF光刻膠系列(包含單體和樹脂合成)、KrF光刻膠系列(包含單體和樹脂合成)等。
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