- 南京化工研究院有限公司：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子級(jí)硫酸及試驗(yàn)方法》通過審查
- 發(fā)布日期：2021-11-17
11月12日，從中石化南京化工研究院有限公司（簡(jiǎn)稱南化研究院）獲悉，由掛靠在南化研究院的全國(guó)化學(xué)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)硫和硫酸分技術(shù)委員會(huì)近日在浙江寧波召開標(biāo)準(zhǔn)審查會(huì)，全體參會(huì)委員和代表參加會(huì)議并通過了對(duì)《電子級(jí)硫酸及試驗(yàn)方法》等標(biāo)準(zhǔn)送審稿的審查，該標(biāo)準(zhǔn)即將上報(bào)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)。
據(jù)介紹，電子級(jí)硫酸是芯片制造工藝中用量最大的電子化學(xué)品，主要用于去除晶圓片上殘留的金屬和有機(jī)物雜質(zhì)，質(zhì)量要求高，產(chǎn)品中金屬離子要求達(dá)到ppt級(jí)。目前，我國(guó)高端電子級(jí)硫酸產(chǎn)品完全依賴德國(guó)BASF等外企進(jìn)口，嚴(yán)重制約我國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展，是主要“卡脖子”產(chǎn)品之一。
近兩年，我國(guó)電子級(jí)硫酸制備技術(shù)取得突破，產(chǎn)品質(zhì)量顯著提高，龍頭企業(yè)電子級(jí)硫酸產(chǎn)品中金屬離子濃度均小于10ppt，超越了國(guó)際SEMI-C12（金屬離子<100ppt）級(jí)別，與國(guó)際電子化學(xué)品供應(yīng)量最大、品質(zhì)最好的巴斯夫電子級(jí)硫酸品質(zhì)處同一級(jí)（金屬離子<10ppt），達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、世界一流水平。
目前，國(guó)內(nèi)還沒有電子級(jí)硫酸的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)或行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，制定適合我國(guó)國(guó)情的《電子級(jí)硫酸》國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，為電子級(jí)硫酸國(guó)產(chǎn)化提供技術(shù)支持，同時(shí)對(duì)解決“卡脖子”問題具有積極意義。根據(jù)國(guó)標(biāo)委發(fā)[2020]37號(hào)《關(guān)于下達(dá)2020年第二批推薦性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃的通知》的安排，由湖北興福電子材料有限公司、南化研究院等負(fù)責(zé)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子級(jí)硫酸及試驗(yàn)方法》的制定工作。項(xiàng)目計(jì)劃號(hào)為：20202886-T-606，完成年限為2022年8月，由全國(guó)化學(xué)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)（SAC/TC63）歸口，硫和硫酸分技術(shù)委員會(huì)（SAC/TC63/SC7）負(fù)責(zé)實(shí)施。
據(jù)硫和硫酸分會(huì)負(fù)責(zé)人、南化研究院總經(jīng)理劉明介紹，標(biāo)準(zhǔn)工作組自去年8月成立以來，主要參照SEMI C44-0708《Specifications and Guidelines for Sulfuric Acid》（硫酸規(guī)范與指南）和HG/T 4559—2013《超凈高純硫酸》，同時(shí)依據(jù)國(guó)內(nèi)生產(chǎn)企業(yè)的實(shí)際生產(chǎn)狀況和用戶對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量要求以及國(guó)內(nèi)現(xiàn)階段成熟的檢測(cè)手段進(jìn)行起草。并著重就標(biāo)準(zhǔn)草案中規(guī)格的設(shè)置、指標(biāo)的大小及檢驗(yàn)方法進(jìn)行了討論，對(duì)規(guī)格和指標(biāo)確定了“高端與國(guó)際看齊、低端適當(dāng)放寬”的原則，同時(shí)結(jié)合我國(guó)實(shí)際情況將規(guī)格按雜質(zhì)含量的區(qū)別分為E1-E5五個(gè)級(jí)別。
據(jù)介紹，制定的標(biāo)準(zhǔn)共設(shè)置了硫酸含量、外觀與色度、不同粒徑顆粒的個(gè)數(shù)、氯化物、硝酸鹽、磷酸鹽、銨鹽、還原高錳酸鉀物質(zhì)及金屬雜質(zhì)等共35個(gè)項(xiàng)目的技術(shù)指標(biāo)，檢測(cè)方法根據(jù)目前企業(yè)的實(shí)際情況，大部分采用了相應(yīng)的、具有較高精度的儀器分析。對(duì)于檢測(cè)方法，鑒于前期陰離子采用儀器分析法所遇到的實(shí)際困難，因而其分析方法采用比色法，金屬元素采用ICP-MS方法。
